Mit dem Solutions Explorer können Sie Warnmeldungen erstellen, die Ihren Bedürfnissen entsprechen. Sie können mehrere Warnmeldungen erstellen und erhalten jedes Mal eine Benachrichtigung, wenn eine neue Solar Impulse Efficient Solutions gekennzeichnet wird und Ihren Filtern entspricht.
Ihre Suchwarnungen werden hier angezeigt.
Melden Sie sich an, um Benachrichtigungen für Ihre Filter und Suchbegriffe zu erstellen.
AnmeldenDu hast noch kein Konto?
RegistrierenMit dem Solutions Explorer können Sie Ihre bevorzugten Lösungen in die engere Auswahl nehmen.
Ihre Favoriten werden hier angezeigt.
Melden Sie sich an, um eine Lösung zu Ihren Favoriten hinzuzufügen.
AnmeldenDu hast noch kein Konto?
RegistrierenSie können die Anbieter der einzelnen Lösungen über das Kontaktformular des "Solutions Explorer" kontaktieren. Das Team wird sich auch darum kümmern, dass Sie eine Antwort auf Ihre Anfrage erhalten.
Ihr Kontaktformular wird hier angezeigt.
Anmelden, um den Anbieter der Lösung zu kontaktieren
AnmeldenDu hast noch kein Konto?
RegistrierenInfo
Solvaclean
Fluorgasgemische als umweltfreundliche Reinigungsgasalternative für Halbleiter
01.
Identifikation
Die Hersteller von Halbleiterchips verwenden in ihren Prozessen eine Vielzahl von Gasen, um Siliziumwafer zu strukturieren. Nach der Bearbeitung einer bestimmten Anzahl von Wafern müssen die Prozesskammern gereinigt werden. Um dem Bedarf der Halbleiterindustrie gerecht zu werden, hat Solvay zwei verschiedene Fluorgasmischungen als umweltfreundliche Gase für CVD-Reinigungsprozesse entwickelt und weltweit patentiert. Solvaclean ist ein Reinigungsgas, das die drei wichtigsten Reinigungsgase C2F6, CF4 und NF3 durch umweltfreundliche fluorierte Gasmischungen ersetzt. Dieses Projekt umfasste die Validierung und Optimierung der neuen Reinigungsprozesse auf Produktionsanlagen und die Freigabe für die FAB-Produktion (Halbleiterproduktionsanlage, in der Geräte wie integrierte Schaltkreise hergestellt werden). Solvaclean reinigt mit ähnlicher Geschwindigkeit und Effizienz wie die Alternativen, wobei weniger Gas pro Anwendung verbraucht wird.
Paketschein Datum
25. Januar 2021
Von
Solvay
Von
Belgien
Reifegrad
Kommerzialisierung im kleinen Maßstab
Sucht nach
Netzwerk, neue Kunden, Sichtbarkeit
02.
Die Vorteile für die Umwelt
- •Weniger fluoriertes Gas verwendet
- •2200 t CO2-Einsparungen auf der Basis von 30000 Wafern
- •Keine Plasmaverbrennung des Abgases erforderlich
- •2200 t CO2-Einsparung im Vergleich zur Reinigung von 30000 Wafern mit C2F6 - Potenzial zur Einsparung von jährlich 4,5 Millionen Tonnen CO2-Äquivalent
- •Bis zu 10 % Energieeinsparung durch Plasmaquellen und keine Plasmabrenner
- •Bis zu 50% Wassereinsparung
03.
Die finanziellen Vorteile
- •Die Amortisationszeit für den Ersatz von C2F6 beträgt weniger als 2 Jahre.
- •Solvaclean benötigt keine Plasmaverbrennungsanlagen, um verbleibendes C2F6, NF3 oder SF6 zu vernichten, was zu einer Kostenreduzierung führt.
04.
Aktivität Region
- Karte
- /
- Liste
Asien
Singapour, China (kontinental), Japon, Corée du Sud, Malaisie, Taïwan,
Nord-Amerika
- Hauptsitz
- Aktivität
05.
Unternehmensprofil
Solvay
Solvay ist ein globales Unternehmen, das von stolzen und engagierten Chemikern geführt wird. Wir verlangen mehr von der Chemie.
Firmenprofil ansehen
Hauptsitz
1000 Brussels, Belgium
06.
Verknüpfte Themen
07.
Ähnliche Lösungen
May 2018
Pellenc ST
Optische Sortiermaschinen für die schnelle und genaue Wiederverwertung großer Mengen von Abfällen
- Versorgungsunternehmen (Wasser, Energie, Abfall)
May 2018
Low-cost substructure system
Prototyp einer bodenmontierten Offshore-Turbine, die sicher, einfach und ohne Kräne installiert werden kann
- Versorgungsunternehmen (Wasser, Energie, Abfall)
- Gebäude und Konstruktionen
Branche
Bewerbung
Zielkundenprofil
Schlagwörter
Teilen
Kontakt mit dem Lösungsanbieter
Zu Favoriten hinzufügen
The information set out above, is solely for the purposes of information and the Solar Impulse Foundation does not provide any guarantee as to its authenticity, completeness or accuracy. This information does not constitute investment advice or a recommendation to buy into, transact or to enter into any agreement with any of the parties or persons mentioned above. Potential investors or interested parties are solely responsible for their investment or business decisions and for performing any due diligence required by the circumstances. The innovator Solvay has asserted ownership of the intellectual property rights for images, videos, and content showcased above, affirming full and unrestricted usage rights, and has provided explicit permission for the Solar Impulse Foundation to publish such information designated as "public" in the application form.