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Solvaclean
Misturas de gás fluorado como uma alternativa de gás de limpeza ecológica para semicondutores
01.
Identificação
Os fabricantes de pastilhas semicondutoras utilizam nos seus processos uma variedade de gases para moldar pastilhas de silício. Após uma série de bolachas processadas, as câmaras de processo devem ser limpas. Para satisfazer a necessidade da indústria de semicondutores, a Solvay desenvolveu e patenteou globalmente duas misturas diferentes de gases fluorados como gases amigos do ambiente para processos de limpeza por CVD. Solvaclean é um gás de limpeza para substituir três grandes gases de limpeza C2F6, CF4 e NF3, por misturas de gases fluorados amigos do ambiente. Este projecto incluiu a validação e optimização dos novos processos de limpeza do equipamento de produção e a libertação para a produção de FAB (fábrica de semicondutores onde são fabricados dispositivos tais como circuitos integrados). Solvaclean é uma limpeza com velocidade e eficiência semelhantes às alternativas, com menos gás utilizado por utilização.
Data do rótulo
25 de janeiro de 2021
Por
Solvay
De
Bélgica
Fase de maturação
Comercialização em pequena escala
À procura de...
Rede, Novos clientes, Visibilidade
02.
Os benefícios ambientais
- •Menos gás fluorado utilizado
- •2200 t de poupança de CO2 com base em 30000 wafers
- •Não é necessária a incineração de plasma do gás residual
- •2200 t de poupança de CO2 em comparação com a limpeza de 30000 wafers com C2F6 - potencial de poupança anual de 4,5 milhões de toneladas de equivalente de CO2
- •Até 10% de poupança de energia resultante de fontes de plasma e sem queimadores de plasma
- •Até 50% de poupança de água
03.
Os benefícios financeiros
- •O tempo de retorno para substituir o C2F6 é inferior a 2 anos
- •Solvaclean não necessita de incineradores de plasma para destruir o C2F6,NF3 ou SF6 restante, induzindo uma redução de custos
04.
Região de actividade
- Mapa
- /
- Lista
Ásia
Singapura, China (continente), Japão, Coreia do Sul, Malásia, Taiwan,
América do Norte
- Sede
- Actividade
05.
Perfil da Empresa
Solvay
A Solvay é uma empresa global movida por químicos orgulhosos e empenhados. Pedindo mais da química.
Ver perfil da empresa
Sede
1000 Brussels, Belgium
06.
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07.
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